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主な実験装置

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HITACHI製 H-9000NAR

・高分解能分析型電子顕微鏡
・加速電圧 300kV
・分解能: 0.18nm
・試料傾斜角:±15°
・エネルギーフィルター:: Gatan GIF678

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日本電子製 JEM-200CX

・汎用型電子顕微鏡
・試料傾斜角度:±30°

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HITACHI製 FB-2000

・電子顕微鏡観察用の薄膜試料作製
・DEPO銃:タングステン

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アサヒ理化製 物理気化蒸着用電気管状炉 ARF3-700-60KC改

ヒーター:カンタル線  炉体:セラミック成形品
・ 最高限界温度:1200℃ 使用温度範囲:常温〜1150℃
・ 常用使用温度:1100℃ 昇温時間:常温から1100℃迄約25分
・ 外観ケース形状:アルミケース開閉式 センサー挿入口:Ф4mm
・ 電源:AC200V

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